一、项目名称
江阴某半导体企业应用超纯水设备项目
二、项目背景
半导体材料是半导体产业链上游中的重要组成部分，在集成电路、分立器件等半导体产品生产制造中起到关键性的作用。目前全球的半导体产业链正向中国大陆转移，中国晶圆厂扩产的步伐已逐渐加快。伴随着国内晶圆厂的投产，将产生更多半导体材料的需求，市场需求空间已被打开，由于半导体元件集成度高，生产线窄，对水质的要求特别高，超纯水成为了电子行业用水的“标配”。
三、项目工艺
自来水进入原水箱，通过原水泵增压，经砂滤器、炭滤器、阻垢剂加药、保安过滤器，到达反渗透单元，经两级反渗透过滤进入EDI单元，达到电阻率15MΩ·cm(25℃)进入纯水水箱。纯水供水设计为循环方式，经纯水供水泵增压，通过紫外线消毒器、抛光混床接入纯水供水管，到达使用点。
四、设备公共条件需求
1、原水要求：进水水量≥13m3/h，进水压力0.3-0.4MPa(恒压)。
2、电源要求：电压：V50Hz和V50Hz。
3、排水要求：设备附近1米需要业主提供排水沟或者排水管。
4、设备间要求：设备间温度15-35℃，通风和照明设备。
5、气源要求：氮气≥99.%
6、工程范围：设备进出水口1米处。
五、超纯水设备设计原则
1、采用先进、实用、可靠的水处理技术，确保处理后的水稳定达标。严格执行国家环保政策，符合国家有关法律、法规、标准、规范以及地方法规；
2、根据进出水要求，选用成熟可靠、高效节能、占地少、经济实用的处理工艺，确保处理效果，减少项目投资及日常费用；
3、工艺流程简洁通畅，整体布置简洁、合理、美观符合厂区统一规划，要求水处理设施布局与周边环境协调，不对周边环境造成二次污染；
4、控制总体投资，工程造价合理，保证长期安全平稳运行，降低日常运行成本；
5、管线合理布置充分利用现有的设置及现有的地形条件；处理施设整体工程施工周期短，安装、检修方便，易于管理；安全措施得当，避免隐患。
6、各功能模块优化组合而成，从而保证了整个系统的高性能与高质量，使产品水完全达到甚至优于用水水质标准。
7、在保证系统稳定、可靠运行的前提下，设计上提高整个系统的自动化水平；主要设备选择以先进、成熟为原则，尽量降低工程投资和运行费用。
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