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电子半导体超纯水设备的应用

来源:反渗透 时间:2023/2/15

半导体行业的生产加工过程与水的使用密不可分,这就要求水质到达一定的生产使用指标,其中不可含有任何的离子杂质。这就需要电子半导体超纯水设备将水中的导电介质去除,再将水中的胶体物质、气体和有机物去除。我们使用电导率和电阻率来表示超纯水的纯度。

目前,我国电子工业部把电子级水质标准分为五个标准(18MΩ·CM、15MΩ·CM、10MΩ·CM、2MΩ·CM、0.5MΩ·CM)以区分不同的水质。

1、≥15MΩ·CM电子半导体超纯水设备工艺流

预处理系统→反渗透系统→中间水箱→中间水泵→EDI处理装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→超纯水

2、≥17MΩ·CM电子半导体超纯水设备工艺流程:

预处理系统→一级反渗透系统→PH调节→中间水箱→第二级反渗透系统→纯水箱→纯水泵→EDI处理装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→超纯水

3、≥18MΩ·CM电子半导体超纯水设备工艺流

预处理系统→反渗透系统→中间水箱→中间水泵→EDI处理装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→超纯水

随着科技研发手段的提高,新的工艺代替传统工艺,您可以根据您所需的水质要求选择适合您的工艺流程。

电子半导体超纯水设备应用领域:

1、半导体和晶圆材料的生产、加工、清洗等步骤。

2、高品质显像管、荧光粉的生产。

3、超纯材料和超纯化学试剂的纯水使用。

4、生产液晶显示器屏幕时所需要的纯水清理和纯水配液。

5、半导体行业对材料、器材、集成电器和印刷电路板上的应用。

本文来源于君浩环保集团(

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