电路产业已经成为国民经济发展的核心产业,集成电路设计、制造与封装测试是集成电路产业发展的三大支柱。微电子技术是集成电路特别是超大规模集成电路发展起来的一种新兴技术。其发展的理论基础是19世纪末到20世纪30年代期间建立起来的现代物理学。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动化测试和封装、组装等一系列专业技术,微电子技术是微电子学中各种工艺技术的总和。
微电子元件在生产过程中会用到很多清洗用水,清洗用水的水质必须达到一定的电阻率才能保证清洗干净,不会留下残留物,所以微电子元件对清洗用水的水质要求非常严格。
超纯水制取工艺流程
原水箱→增压泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→阻垢剂→一级反渗透主机→一级纯水箱→二级反渗透主机→二级纯水箱→增压泵→紫外线杀菌器→膜滤器→EDI系统→TOC脱除器+脱气膜+抛光混床→终端膜滤器
由以上过程可以看出,超纯水制备系统是多种设备的组合,其中,反渗透设备承担了工艺中主要的脱盐任务,并对系统的运行状况进行了有效的判断,本设备主要采用反渗透原理,在去除水中溶解盐的同时,去除一些大分子,预处理未去除的小颗粒等。反渗透设备有下列优点:
1、在线实时监测。随时监测设备运行,保证设备运行状态。
2、脱盐率高,使用寿命长,运行成本低。
3、全自动程序控制,还可以配备触摸屏,操作简单方便。
反渗透设备在电子元件清洗用水中的应用不但能提高产水品质,降低生产成本,还可以防止环境污染,有力地推动了电子行业的进步,也推动了超纯水制造技术的发展。
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